Gaz spécial tétrafluorométhane CF4 R14

Le tétrafluorure de carbone est un gaz comprimé ininflammable, incolore et inodore conditionné dans des bouteilles à des pressions allant jusqu'à 2000 psig. Le tétrafluorure de carbone est généralement utilisé comme réfrigérant à basse température. Il est également utilisé dans la microfabrication électronique seul ou en combinaison avec de l'oxygène comme agent de gravure au plasma pour le silicium, le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium.