L'hexafluorure de soufre est un composé inorganique avec la formule SF6. Il s'agit d'un gaz incolore, inodore, non toxique et non inflammable (dans des conditions standard). SF6 a une géométrie octaédrique, composée de six atomes de fluor attachés à un atome de soufre central. Il s'agit d'une molécule hypervalente. Typique pour un gaz non polaire, il est mal soluble dans l'eau mais soluble dans les solvants organiques non polaires. Il est généralement transporté comme un gaz comprimé liquéfié. Il a une densité de 6,13 g / L dans des conditions au niveau de la mer, ce qui est considérablement plus élevé que la densité de l'air.
Le F6 est utilisé dans l'industrie électrique comme milieu diélectrique gazeux pour les disjoncteurs à haute tension (35 kV et plus), les appareils de commutation et d'autres équipements électriques, remplaçant souvent les disjoncteurs remplis d'huile (OCB) qui peuvent contenir des PCB nocifs. Le gaz SF6 sous pression est utilisé comme isolant dans l'appareillage de commutation isolée (SIG) car il a une résistance diélectrique beaucoup plus élevée que l'air ou l'azote sec. Cette propriété permet de réduire considérablement la taille de l'équipement électrique. Cela rend les SIG plus adaptés à certaines fins telles que le placement intérieur, par opposition à l'équipement électrique isolée à l'air, qui prend beaucoup plus d'espace. L'équipement électrique isolée par le gaz est également plus résistant aux effets de la pollution et du climat, tout en étant plus fiable en fonctionnement à long terme en raison de son environnement de fonctionnement contrôlé. Les disjoncteurs à vide (VCBS) déplacent les disjoncteurs SF6 dans l'industrie car ils sont plus sûrs et nécessitent moins de maintenance. Bien que la plupart des produits de décomposition aient tendance à reformuler rapidement le SF6, l'arc ou la couronne peut produire du disulfur décluorure (S2F10), un gaz hautement toxique, avec une toxicité similaire au phosgène. S2F10 a été considéré comme un agent de guerre chimique potentiel pendant la Seconde Guerre mondiale car il ne produit pas de déacrimation ou d'irritation cutanée, offrant ainsi peu d'avertissement d'exposition.
SF6 est également couramment rencontré comme un diélectrique à haute tension dans les fournitures à haute tension d'accélérateurs de particules, tels que les générateurs de van de graaff et les Pelletrons et les microscopes électron à transmission haute tension.
Le plasma SF6 est également utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs en tant que graveur.
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