Bis (t - butylamino) silane

Le silane Bis (T-butylamino) est un liquide incolore qui réagit rapidement avec l'humidité, l'eau, les solvants protiques.

C'est le précurseur de la chimie liquide chimique à vapeur, qui peut déposer des films homogènes de nitrure de silicium et peut être utilisé pour préparer des films de nitrure de silicium, des dispositifs semi-conducteurs et des films d'isolement des canaux peu profonds.