Halocarbone-41 fluorure de méthyle

Le fluorométhane , également connu sous le nom de fluorure de méthyle , Freon 41 , Halocarbone-41 et HFC-41 , est un gaz non toxique, liquéfiable et inflammable à température et à la pression standard. Il est fait de carbone , d'hydrogène et de fluor . Le nom découle du fait qu'il s'agit de méthane (CH ₄ ) avec un atome de fluor substitué à l'un des atomes d'hydrogène.

Il est utilisé dans la fabrication de produits semi-conducteurs et électroniques. En présence d'un champ RF, le fluorométhane se dissociera en ions fluorures qui graveront sélectivement les films composés de silicium ( gravure d'ion réactif ).